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电子工业用气体氨纯度检测
发布时间:2020-02-17        

GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨技术指标

项目

电子级

氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2

99.999 5

O2)含量(体积分数)/10-6

1

氮(N2)含量(体积分数)/10-6

1

一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6

1

烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6

1

水分(H2O)含量(体积分数)/10-6

3

杂质总含量(体积分数)/10-6

5

 
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